1、X向横梁：采用精密斜梁技术。2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构。3、导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨。4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳。5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的位精度6、 控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统7、 机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。8、 测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能。 规格 测量范围（㎜） 外形尺寸（㎜） 测量精度 最 大载 重( Kg) 整机重量(Kg) X Y Z X Y Z 空间示值误差 MPE E (μm) 探测误差 MPEP(μm) HL-CMFH 575 500 700 500 1150 1320 2570 2.2 ﹢ 3L ／ 1000 2.5 500 1500 HL-CMFH 8107 800 1000 700 1450 1900 3000 2.5 ﹢ 3L ／ 1000 2.8 1000 2400 HL-CMFH8157 1500 2400 1200 3000 HL-CMFH10128 1000 1200 800 1650 2100 3250 3.0 ﹢ 3L ／ 1000 3.5 1200 2900 HL-CMFH10158 1500 2400 1350 3300 HL-CMFH10208 2000 2900 1500 4200 HL-CMFH12158 1200 1500 800 1850 2400 3250 3.8 ﹢ L ／ 250 4.2 1400 3800 HL-CMFH12208 2000 2900 1600 4500 HL-CMFH101510 1000 1500 1000 1650 2400 3700 3.8 ﹢ L ／ 250 4.2 1350 3500 HL-CMFH102010 2000 1500 4300 注：L ：单位为 mm　　E ：单位为 μm

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